美利体育登录入口官网:SJ/T 12128-2026
芯片生产厂房微振动控制工程技术规范
Specification for microvibration control engineering in chip manufacturing plant
SJT12128-2026, SJ12128-2026
2026-11-01
- 标准号
- SJ/T 12128-2026
- 别名
- SJT12128-2026, SJ12128-2026
- 发布
- 2026年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.200 集成电路、微电子学
- 总页数
- 61页
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 12128-2026
- 引用标准
- GB 51076
- 适用范围
- 为规范芯片生产厂房的微振动控制工程建设，保证满足芯片生产的微振动环境要求，并做到运行可靠、技术先进、经济适用，制定本标准。本标准适用于新建、改建和扩建芯片生产厂房的微振动测试评估、微振动控制设计、微振动控制工程施工与质量验收。芯片生产厂房的微振动控制工程除应符合本标准的要求外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
美利体育登录入口官网: SJ/T 12128-2026 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 粒子计数器 | 测量空气洁净度。 |
| 压力表 | 测量气压。 |
| 2m靠尺 | 测量表面平整度。 |
| 信号调理器 多通道抗混滤波放大器，幅值一致性偏差<2%，相位一致性偏差<0.1ms | 对传感器信号进行放大、滤波、积分等调理。 |
| 信号采集仪 模/数转换精度≥24位，动态范围≥120dB | 将模拟信号转换为数字信号并存储。 |
| 振动传感器 频响范围宜为1Hz～100Hz | 用于测量微振动加速度或速度的传感器。 |
| 数据美利体育登录入口官网 具有时域和频域多通道显示分析功能 | 对振动数据进行时域和频域分析。 |
| 楔形塞尺 配合靠尺使用 | 测量缝隙宽度。 |
| 水准仪 配合高精度塔尺 | 测量标高。 |
| 激振美利体育官网首页网址 力锤（橡胶锤头）冲击力≥5kN | 用于施加激振力，如力锤。 |
| 秒表 | 测量时间。 |
| 裂缝宽度对比卡 | 美利体育登录入口官网裂缝宽度。 |
| 钢尺 | 测量长度尺寸。 |
| 高精度塔尺 配合水准仪 | 测量标高。 |
