| 光学轮廓仪 包括白光干涉显微镜、共焦显微镜、激光扫描共焦显微镜、彩色共焦显微镜 | 基于光学显微镜技术,利用干涉或共焦技术测量台阶轮廓 |
| 夹具或配件 适当夹具 | 用于使基准面与测试表面平行 |
| 感应测量探头或位移传感器 触针半径250μm,最大放大倍数10,触针静压力0.12N | 用于记录台阶轮廓的增量或绝对值传感器 |
| 标准块 台阶高度已知,不确定度小于10% | 用于校准仪器的台阶高度标准 |
| 电解池 用于溶解覆盖层的小面积电解池 | 用于制备台阶,通过阳极溶解法溶解覆盖层 |
| 触针式仪器 圆锥或角锥触针传感器,夹角1.05 rad(60°)或1.57 rad(90°),针尖半径2μm、5μm、10μm或50μm;驱动单元;放大单元 | 用于测量表面粗糙度和记录台阶轮廓的接触式仪器 |
Copyright ?2007-2026 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号
页面更新时间: 2026-09-13 11:25