美利体育登录入口官网:SJ/T 31096-1994
精密硅片磨床完好要求和检查评定方法
Readiness requirements and methods of inspection and assessment for high-precision silicon wafer grinding machines
SJT31096-1994, SJ31096-1994
- 标准号
- SJ/T 31096-1994
- 别名
- SJT31096-1994, SJ31096-1994
- 发布
- 1994年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.550 电子产品生产美利体育官网首页网址
- 总页数
- 6页
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31096-1994
- 本体
- 完好要求 检查评定方法
- 适用范围
- 本标准规定了精密硅片磨床的完好要求与检查、评定方法。 本标准适用于CM73-Ⅲ型精密硅片磨床。其它类型的硅片磨床也可参照本标准执行。
美利体育登录入口官网: SJ/T 31096-1994 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 万用表 未提及 | 用于美利体育登录入口官网接地可靠性的仪器。 |
| 兆欧表 未提及 | 用于美利体育登录入口官网电气系统绝缘层无破裂、无漏电现象的仪器。 |
| 千分表 未提及 | 用于美利体育登录入口官网工件平面度的测量工具。 |
| 固定指示器 未提及 | 用于美利体育登录入口官网磨头主轴轴端摆动、轴向窜动及工作台轴向窜动的测量工具。 |
| 外径千分尺 未提及 | 用于美利体育登录入口官网工件平行度的测量工具。 |
| 平板 未提及 | 用于美利体育登录入口官网工件平面度的基准工具。 |
| 精密硅片磨床 CM73-H | 用于硅片精密磨削加工的美利体育官网首页网址，需满足几何精度和工作精度要求。 |
