美利体育登录入口官网:SJ/T 31110-1994
AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for AMV-1284 silicon epitaxial furnaces
SJT31110-1994, SJ31110-1994
2010-02
- 标准号
- SJ/T 31110-1994
- 别名
- SJT31110-1994, SJ31110-1994
- 发布
- 1994年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.550 电子产品生产美利体育官网首页网址
- 总页数
- 5页
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31110-1994
- 适用范围
- 本标准规定了AMV-1284型硅外延炉的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于AMV-1284型和类似结构的其它型号的硅外延炉。