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美利体育登录入口官网:硅晶圆的标准规范有哪些？

发布时间：2026-09-20

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硅晶圆：从单晶硅锭切割制成的圆形薄片，具有特定电阻率。半导体制造的核心基材，用于生产太阳能电池和集成电路芯片，表面需抛光或外延处理。

 

硅晶圆相关标准共24份，包含现行有效、已替代、已作废等。

在国际标准分类中，硅晶圆涉及到的分类有：化学分析等。

硅晶圆涉及到的各类执行标准、规范如下(标准的数量，基本排除已被替代的标准，下同)：

试验标准	规范标准	未分类	指南标准	术语标准
18	3	3	1	1

以下国家标准机构或者组织发布了硅晶圆相关的标准规范，统计数据如下：

美国材料与试验协会	国际标准化组织	日本工业标准调查会	德国标准化学会
20	2	1	1

美利体育登录入口官网:按标准类别列表如下：

试验标准

试验中涉及到硅晶圆的执行标准有哪些？共计18 个，查看全部>>

标准号	标准名称	发布机构
ASTM RR-F01-1016 2000	F1530-通过自动非接触式扫描测量硅片的平整度、厚度和厚度变化的标准测试方法	美国材料与试验协会
ASTM F534-02a	硅片弯曲度测定方法	美国材料与试验协会
ASTM F928-02	圆型半导体晶圆及刚性盘基板边缘轮廓测试方法	美国材料与试验协会
ASTM F1726-02	硅晶圆晶体缺陷分析指南	美国材料与试验协会
ASTM F416-94	硅晶圆表面区域氧化诱发晶体缺陷美利体育登录入口官网的标准试验方法	美国材料与试验协会
ASTM F81-01	测量硅片径向电阻率变化的标准测试方法	美国材料与试验协会

指南标准

关于硅晶圆的指南有哪些？

标准号	标准名称	发布机构
ASTM F154-02	用于识别镜面硅表面所见结构及污染物的标准指南	美国材料与试验协会

规范标准

硅晶圆都有哪些执行标准、规范？

标准号	标准名称	发布机构
ASTM F523-02	未辅助视觉美利体育登录入口官网晶圆表面的质量检验实践	美国材料与试验协会
ASTM F1049-02	浅蚀刻坑美利体育登录入口官网实践	美国材料与试验协会
ASTM F84-02	测量硅片电阻率的在线四点探针测试方法	美国材料与试验协会

术语标准

硅晶圆定义在哪些术语标准中？

标准号	标准名称	发布机构
ASTM F1241-95(2000)	半导体级硅技术和专业词汇	美国材料与试验协会

未分类

以下标准未给出明确分类。

标准号	标准名称	发布机构
ASTM STP 960-1987	新兴半导体技术	美国材料与试验协会
JIS K 0148:2026	表面化学分析 硅片表面元素污染总量的测定 全反射X射线荧光（TXRF）光谱法	日本工业标准调查会
DIN 51456:2013-10	半导体技术材料测试 使用电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)在水性分析溶液中进行多元素测定 对硅晶片进行表面分析	德国标准化学会

美利体育登录入口官网:标准本体“硅晶圆”有关的标准，按发布机构统计：

机构代码	机构名称	“硅晶圆”标准数量	类型
US-ASTM	美国材料与试验协会	20	试验、指南、规范、术语、其它
IX-ISO	国际标准化组织	2	试验
JP-JISC	日本工业标准调查会	1	其它
DE-DIN	德国标准化学会	1	其它