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美利体育登录入口官网:超纯水的标准规范有哪些？

发布时间：2026-09-05

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超纯水：超纯水是指经过去除干扰性污染物（如颗粒、有机物、生物、离子等）至预定高纯度的水。它经过高度净化处理，主要用途包括半导体制造、制药、生命科学、电子工业等对水质要求极高的领域，具体类型包括纯化水、高纯化水和注射用水。

 

超纯水相关标准共22份，包含现行有效、已替代、已作废等。

在国际标准分类中，超纯水涉及到的分类有：工业用水等。

超纯水涉及到的各类执行标准、规范如下(标准的数量，基本排除已被替代的标准，下同)：

未分类	试验标准	规范标准	指南标准
12	2	2	2

以下国家标准机构或者组织发布了超纯水相关的标准规范，统计数据如下：

德国机械工程师协会	台湾地方标准	美国材料与试验协会	国际半导体协会	国家市场监督管理总局	德国标准化学会	其它
6	4	3	2	1	1	1

美利体育登录入口官网:按标准类别列表如下：

试验标准

试验中涉及到超纯水的执行标准有哪些？

标准号	标准名称	发布机构
GB/T 24800.8-2009	化妆品中甲氨嘌呤的测定.高效液相色谱法	国家市场监督管理总局
DIN 50451-4:2024-09	半导体技术材料测试 - 液体中痕量元素的测定 - 第四部分：通过等离子体质谱法（ICP-MS）在超纯水中测定34种元素	德国标准化学会

规范标准

超纯水都有哪些执行标准、规范？

标准号	标准名称	发布机构
ASTM D7980-15(2023)	半导体工业中超纯水（UPW）抓斗样品中阴离子的离子色谱分析标准指南	美国材料与试验协会
ASSE IAPMO IGC 376-2023	超纯水和无菌水 水处理美利体育官网首页网址	美国安全工程师协会

未分类

以下标准未给出明确分类。共计12 个，更多>>

标准号	标准名称	发布机构
ASTM D8457-26	用于金属和类金属分析的玻璃和塑料器皿清洗的标准做法	美国材料与试验协会
VDI 2083 Blatt 13-3 Anderungsentwurf-2020	清洁室技术 高纯度水的质量、生产与分配 药物及其他生命科学应用	德国机械工程师协会
SEMI F75-0521-2021	半导体制造中使用的超纯水质量监测指南	国际半导体协会
VDI 2083 Blatt 13.1-2009	洁净室技术 超纯水的质量、生产和分配 基础知识	德国机械工程师协会
VDI 2083 Blatt 13.2-2009	洁净室技术 超纯水的质量、生产和分配 微电子和其他技术应用	德国机械工程师协会
VDI 2083 Blatt 13-1-2009	洁净室技术 质量、生产与分配的超纯水基础	德国机械工程师协会

指南标准

关于超纯水的指南有哪些？

标准号	标准名称	发布机构
ASTM D5127-13(2018)	电子和半导体行业超纯水标准指南	美国材料与试验协会
VDI 2083 Blatt 13.3-2010	洁净室技术 超纯水的质量、生产和分配 制药和其他生命科学应用	德国机械工程师协会

美利体育登录入口官网:标准本体“超纯水”有关的标准，按发布机构统计：

机构代码	机构名称	“超纯水”标准数量	类型
CN-GB	国家市场监督管理总局	1	试验
US-ASTM	美国材料与试验协会	3	规范、其它、指南
DE-DIN	德国标准化学会	1	试验
US-ASSE	美国安全工程师协会	1	规范
DE-VDI	德国机械工程师协会	6	其它、指南
IX-SEMI	国际半导体协会	2	其它
CN-CNS	台湾地方标准	4	其它