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美利体育登录入口官网:四探针法的标准规范有哪些？

发布时间：2026-05-22

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四探针法：测量半导体材料电阻率的电学排列方法，通过表面电阻测量原理实现导电涂层厚度的无损美利体育登录入口官网。该方法采用四点接触模式消除接触电阻影响。

 

四探针法相关标准共16份，包含现行有效、已替代、已作废等。

在国际标准分类中，四探针法涉及到的分类有：半导体材料、其他有色金属及其合金等。

四探针法涉及到的各类执行标准、规范如下(标准的数量，基本排除已被替代的标准，下同)：

试验标准	未分类	规范标准	规程标准
9	6	1	1

以下国家标准机构或者组织发布了四探针法相关的标准规范，统计数据如下：

美国材料与试验协会	德国标准化学会	中国团体标准	日本工业标准调查会	国际标准化组织	西班牙标准化协会	其它
3	3	2	2	1	1	4

美利体育登录入口官网:按标准类别列表如下：

试验标准

试验中涉及到四探针法的执行标准有哪些？共计9 个，查看全部>>

标准号	标准名称	发布机构
ASTM F397-02	硅棒两电极探针法电阻率测试方法	美国材料与试验协会
ASTM F84-02	测量硅片电阻率的在线四点探针测试方法	美国材料与试验协会
ISO 14571:2020	非金属基材上的金属涂层.涂层厚度的测量.微电阻率法	国际标准化组织
DIN EN ISO 14571:2023-01	非金属基材上的金属涂层 涂层厚度的测量 微电阻率法	德国标准化学会
DIN EN ISO 14571:2023	非金属基材上的金属涂层 涂层厚度的测量 微电阻率法（ISO 14571:2020）	德国标准化学会
DIN EN ISO 14571 E 2022-7	金属涂层在非金属基材上的厚度测量 微电阻法（ISO 14571:2020）	德国标准化学会

规范标准

四探针法都有哪些执行标准、规范？

标准号	标准名称	发布机构
ASTM F84-02	测量硅片电阻率的在线四点探针测试方法	美国材料与试验协会

未分类

以下标准未给出明确分类。共计6 个，更多>>

标准号	标准名称	发布机构
UNE-EN ISO 14571:2023	非金属基材上的金属涂层 涂层厚度的测量 微电阻率法（ISO 14571:2020）	西班牙标准化协会
UNI EN ISO 14571:2023	非金属基材上的金属覆盖层 覆盖层厚度测量 微电阻率法	意大利统一标准化组织
AENOR UNE-EN ISO 14571:2023	非金属基材上的金属涂层 涂层厚度的测量 微电阻法（ISO 14571:2020）	西班牙标准化协会
GB/T 47091-2026	金属粉末 电导率的测定	国家市场监督管理总局
LST EN ISO 14571:2023	非金属基体上的金属涂层 涂层厚度测量 比表面层电阻法（ISO 14571:2020）	立陶宛标准局
JIS H 0602:1995	用四点探针法对硅晶体和硅片电阻率的测试方法	日本工业标准调查会

规程标准

四探针法有哪些相关规程？

标准号	标准名称	发布机构
ASTM F1711-96(2016)	采用四点探针法测量平板显示器制造用薄膜导体的薄层电阻的标准实施规程	美国材料与试验协会

美利体育登录入口官网:标准本体“四探针法”有关的标准，按发布机构统计：

机构代码	机构名称	“四探针法”标准数量	类型
US-ASTM	美国材料与试验协会	3	试验、规范、规程
IX-ISO	国际标准化组织	1	试验
DE-DIN	德国标准化学会	3	试验
ES-UNE	西班牙标准化协会	1	其它
IT-UNI	意大利统一标准化组织	1	其它
CN-TUANTI	中国团体标准	2	试验
JP-JISC	日本工业标准调查会	2	试验、其它
ES-AENOR	西班牙标准化协会	1	其它
CN-GB	国家市场监督管理总局	1	其它
LT-LST	立陶宛标准局	1	其它