微系统技术是一种将微电子技术、微机械技术、微流体技术等多种技术集成在一起，制造出具感知、处理、执行功能的微型系统或组件的技术领域。它利用微加工技术实现微电气、微光学和微机械系统及其组件，基于半导体或其他材料（如聚合物、玻璃、少属、陶瓷）制成微徽型组件，涉及微结构工艺，包括传感器、执行器、微泵、微阀等。
| 标准号 & 类别 | 标准名称 | 发布 |
|---|---|---|
| BS EN 62047-1:2016 术语标准 |
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Terms and definitions
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2016-04-30 英国标准学会 |
| DIN 32564-1:2004 术语 |
微系统用制造美利体育官网首页网址.术语和定义.第1部分:微系统技术的一般术语 Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology
晶圆 |
2004-05 德国标准化学会 |
| DIN EN 62047-1 E:2014-05 术语 |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
微机电系统 |
2014-05 德国标准化学会 |
| DIN EN 62047-1:2006 术语 |
半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义(IEC 62047-1-2005) Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006
微机电系统 |
2006-10 德国标准化学会 |
| DIN EN 62047-1:2016-12 术语标准 |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2016); German version EN 62047-1:2016 / Note: DIN EN 62047-1 (2006-10) remains valid alongside this standard until 2019-02-10.
微机电系统 |
2016-12 德国标准化学会 |
| DIN EN 62047-4:2011 规范 |
半导体器件.微电机器件.第4部分:MEMS一般要求(IEC 62047-4-2008);德文版本EN 62047-4-2010 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010
质量评估 |
2011-03 德国标准化学会 |
| DIN EN 62047-4:2011-03 规范 |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010
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2011-03 德国标准化学会 |
| DIN-Fachbericht 65:1997 指南标准 |
Microsystem Technology
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1997 德国标准化学会 |
| IEC 60050-523:2018 术语 |
International Electrotechnical Vocabulary (IEV) - Part 523: Micro-electromechanical devices
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2018-12-06 国际电工委员会 |
| IEC 62047-1:2016 术语 |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
微机电系统 |
2016-01 国际电工委员会 |
| LST EN 62047-1:2016 术语 |
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2016)
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2016-10-10 立陶宛标准局 |
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