美利体育登录入口官网:GB/T 32816-2016
硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
GBT32816-2016, GB32816-2016
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- 标准号
- GB/T 32816-2016
- 别名
- GBT32816-2016
GB32816-2016 - 发布
- 2016年
- ICS
-
31.200
- 总页数
- 17页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 32816-2016
- 引用标准
- GB 50073 GB/T 19022 GB/T 26111
- 本体
- 硅片
本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。
美利体育登录入口官网: GB/T 32816-2016 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 湿法腐蚀台 | 用于硅片或玻璃片的湿法腐蚀处理，形成所需结构。 |
| 阳极键合美利体育官网首页网址 | 用于硅片与玻璃片的对准和键合，提供精确的电压和温度控制。 |