美利体育登录入口官网:GB/T 32815-2016
硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
GBT32815-2016, GB32815-2016
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- 标准号
- GB/T 32815-2016
- 别名
- GBT32815-2016, GB32815-2016
- 发布
- 2016年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.200 集成电路、微电子学
- 总页数
- 24页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 32815-2016
- 引用标准
- GB 50073 GB/T 19022 GB/T 26111
- 本体
- 硅片
- 适用范围
- 本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅-玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。
美利体育登录入口官网: GB/T 32815-2016 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 光刻机 高精度光刻系统 | 用于在硅片上进行光刻图形转移的美利体育官网首页网址 |
| 显微镜 光学/电子显微镜 | 用于美利体育登录入口官网和评估 MEMS 结构的质量 |
| 涂胶台 适用于光刻工艺 | 用于在硅片表面涂布光刻胶的美利体育官网首页网址 |