| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 碳纳米管 Carbon Nanotube | 由碳构成的纳米管,通常由弯曲的石墨烯层组成,包括单壁碳纳米管和多壁碳纳米管。 |
| 自下而上纳米制造 Bottom-up Nanomanufacturing | 利用纳米尺度的微小基本单元来创建具有广泛功能性的更大结构或排列的工艺过程。 |
| 自上而下纳米制造 Top-Down Nanomanufacturing | 从宏观物体中创造纳米尺度结构的工艺过程。 |
| 光刻 Lithography | 可重复地产生图案的过程。图案可以在光敏材料中产生,或通过过印、印刷或直接写入将材料转移到基底上。 |
| 薄膜生长 - 层状生长 Frank-van-der-Merwe Growth | 逐层进行的薄膜生长方式,对应于薄膜原子与基底的结合力强于原子间结合力的情况。 |
| 薄膜生长 - 岛状生长 Volmer-Weber Growth | 岛状层生长方式,对应于薄膜原子间结合力强于原子与基底结合力的情况。 |
| 溶胶-凝胶过程 Sol-Gel Process | 将化学溶液或胶体悬浮液(溶胶)转化为一体化网络(凝胶)的过程,该凝胶随后可进一步致密化。 |
| 静电自组装 Layer-by-layer Deposition | 通过静电作用将带相反电荷的聚电解质交替沉积到基底上的过程。 |
| 反应炉/管式炉 用于气相沉积或热解 | 用于在高温下控制化学反应,如CVD(化学气相沉积)或热解过程,以生成纳米材料。 |
| 扫描探针显微镜 未指定 | 用于原子力显微镜(AFM)针尖,可涂覆特殊分子以沉积材料到表面,用于纳米压印光刻等工艺。 |
| 球磨机 用于干磨或湿磨 | 通过机械剪切作用,利用硬度更大的研磨介质将材料粉碎成纳米颗粒。 |
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