美利体育登录入口官网:EN ISO 14644-1:2015
洁净室和相关控制环境.第1部分:颗粒物浓度的空气洁净度分级
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-1:2015)
- 标准号
- EN ISO 14644-1:2015
- 发布
- 2015年
- 国际标准分类(ICS)
- 13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境
- 总页数
- 43页
- 发布单位
- 欧洲标准化委员会
- 当前最新
- EN ISO 14644-1:2015
- 引用标准
- ASTM F312-08 IEST-G-CC1003 IEST-G-CC1004 ISO 14644-2:2015 ISO 14644-7:2004 ISO 21501-4:2007 JIS B 9920:2002
- 被代替标准
- FprEN ISO 14644-1:2015
- 本体
- 受控环境
- 适用范围
- ISO 14644 的这一部分包含根据 ISO 14644-7 基于空气颗粒浓度的洁净室和相关洁净室区域以及 SD 模块（en：分离装置，SD）的空气洁净度分类。 仅考虑其累积频率分布基于粒径阈值（美利体育登录入口官网下限）（范围为 0.1 ?m 至 5 ?m）的颗粒群进行分类。 使用光散射（离散）空气颗粒计数器 (LSAPC) 是确定指定采样位置处等于或大于指定尺寸范围的空气颗粒浓度的基础。 ISO 14644 的这一部分不适用于超出规定的 0.1 ?m 至 5 ?m 颗粒尺寸下限（美利体育登录入口官网限）的颗粒组的分类。 标准系列的另一部分讨论了超细颗粒（小于 0.1 ?m 的纳米级颗粒）的浓度，该部分以空气中纳米颗粒的颗粒浓度来定义空气纯度，而 M 描述符（参见附录 C）则用于量化大颗粒组（可以使用大于 5 ?m 的颗粒。 ISO 14644 的这一部分不适用于表征物理、化学、放射性、活性（活性）或其他类型的空气传播颗粒。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 洁净室 Cleanroom | 定义的空间内空气中粒子浓度受控并分类，且以控制污染物引入、产生和保留的方式构建和运行的环境。 |
| 洁净区 Clean zone | 在洁净室内部或独立分离美利体育官网首页网址内定义的空间，其空气中粒子浓度受控并分类。 |
| 安装 Installation | 洁净室或一个或多个洁净区，连同所有相关的结构、空气处理系统、服务和公用设施。 |
| 分类 Classification | 评估洁净室或洁净区洁净度水平是否符合规范的方法。 |
| 粒子 Particle | 具有明确物理边界的微小物质块。 |
| 粒子尺寸 Particle size | 产生与待测粒子响应等效的响应的球体直径，由给定的粒子尺寸美利体育登录入口官网器测定。 |
| 粒子浓度 Particle concentration | 单位体积空气中的单个粒子数量。 |
| 粒子尺寸分布 Particle size distribution | 作为粒子尺寸函数的粒子浓度的累积分布。 |
| M 描述符 M descriptor | 每立方米空气中大粒子（大于 5 μm）浓度（测得或规定）的指定符号，用测量方法特征等效直径表示。 |
| 单向流 Unidirectional airflow | 通过洁净室或洁净区整个截面的受控气流，具有稳定的速度和被视为平行的气流线。 |
| 非单向流 Non-unidirectional airflow | 进入洁净室或洁净区的送风通过感应与内部空气混合的空气分布方式。 |
| 已安装 As-built | 洁净室或洁净区已完成，所有服务连接并运行，但无美利体育官网首页网址、家具、材料或人员存在的状态。 |
| 静态 At-rest | 洁净室或洁净区已完成，美利体育官网首页网址已安装并按商定方式运行，但无人员存在的状态。 |
| 动态 Operational | 洁净室或洁净区按指定方式运行，美利体育官网首页网址运行，并有指定数量人员存在的商定状态。 |
美利体育登录入口官网: EN ISO 14644-1:2015 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 光散射 airborne 粒子计数器 LSAPC (Light Scattering Airborne Particle Counter) | 能够计数和测量单个 airborne 粒子，并报告以等效光直径表示的尺寸数据的仪器。规格见 ISO 21501-4:2007。 |
| 大粒子计数器 Discrete-macroparticle counter | 能够计数和测量单个 airborne 大粒子的仪器。 |
| 飞行时间粒子尺寸分析装置 Time-of-flight particle sizing apparatus | 通过测量粒子适应空气速度变化所需时间来定义粒子空气动力学直径的离散粒子计数和尺寸分析装置。 |