| 平行面夹钳 | 两根坚硬不腐蚀材料(如不锈钢或石英玻璃)制成的平面,其中一个固定一个在精密台面上。 |
| 电子千分尺系统 | 包括但不限于双通米切尔斯干涉仪。通过反射体测量平台移动来精确定位样品直径变化量。 |
| 精密机械台 | 承载可移动夹钳及反射器,配合电子千分尺进行精确的尺寸测量,由微米螺丝控制移动和弹簧装置锁紧平台。 |
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