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真空技术 测量真空泵性能的标准方法 涡轮分子真空泵

Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Turbomolecular vacuum pumps


标准号
BS ISO 21360-4:2018
发布
2018年
国际标准分类(ICS)
23.160 真空技术   
总页数
20页
发布单位
英国标准学会
当前最新
BS ISO 21360-4:2018
 
 
引用标准
ISO 21360-1:2012 ISO 3529-2
 
 
本体
体积流量 压缩比
适用范围
本文件与ISO 21360-1一起,规定了测量涡轮分子真空泵性能特性的方法。适用于所有尺寸和类型的涡轮分子真空泵,包括那些带有机械或磁轴承、带有或不带有附加拖动级或其他泵级在轴上、带有一个或多个进气口的泵。由于涡轮分子真空泵由主泵支持,其性能不能完全由体积流量曲线定义。驱动装置和支持压力对性能也很重要。
术语描述
临界背压
critical backing pressure
泵和驱动装置可以连续运行而不会损坏或过载的最大背压,同时泵的压缩比仍大于10且吹扫气流关闭。
最大吞吐量
maximum throughput
可以连续泵送而不损坏泵的最高气体负荷。
体积流量
volume flow rate
单位时间内通过泵的气体体积,通常以升每秒或立方米每小时表示。
极限压力
ultimate pressure
测试圆顶中压力渐近接近的值,始终低于基础压力pb1。
基础压力
base pressure
烘烤程序后48小时在圆顶中获得的压力。

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