美利体育登录入口官网:SAE AMS2535B-2015
用于微电路的涂层、气相沉积聚单氯对二甲苯
Coating, Vapor Deposited Poly-Monochloro-Para-Xylylene for Microcircuits
- 标准号
- SAE AMS2535B-2015
- 发布
- 2015年
- 国际标准分类(ICS)
- 49.040 有关航空航天制造用镀涂和有关工艺
- 总页数
- 12页
- 发布单位
- 美国机动车工程师协会
- 当前最新
- SAE AMS2535B-2015
- 引用标准
- ASTM D3359-09 ASTM E252-06 MIL-STD-794-1993 SAE AMS2517-1984 SAE AMS2517A-2001 SAE AMS2825B-2010 SAE AMS3871C-1995
- 本体
- 微电路
- 适用范围
- 本规范涵盖了聚一氯对二甲苯涂料的要求。主要用作混合微电路基板和有源单片器件上的二次防潮涂层。此外，涂层还能固定残留在密封微电路中的不需要的颗粒，并在一定程度上增强细线互连的强度。
美利体育登录入口官网: SAE AMS2535B-2015 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 汽化器 无具体型号，需温度控制在100-200°C | 用于将二聚体原料加热转化为气态单体的美利体育官网首页网址部分。 |
| 涂层沉积室 封闭系统，能够维持必要的分区控制压力和温度 | 用于进行聚-单氯-对二甲苯薄膜沉积的美利体育官网首页网址，需具备温度控制（25-40°C）和真空控制功能。 |
| 裂解器 温度控制在600-700°C | 将单体进一步裂解为活性聚合物的美利体育官网首页网址部分。 |
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