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| 钢板及钢带 Steel sheets and strips | 基体材料 |
| 天平 感量0.01mg | 用于测量溅射前后质量损失 |
| 美利体育登录入口官网器 光电倍增管或固态美利体育登录入口官网器 | 用于测量光谱信号强度 |
| 表面形貌仪 光学或机械式 | 用于测量溅射坑深度,准确度优于5% |
| 辉光放电原子发射光谱仪系统 Grimm型或类似辉光放电光源(直流或射频),多道光谱仪,阳极孔内径2~8mm | 用于产生辉光放电并测量发射光谱的整套美利体育官网首页网址 |
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