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本部分规定了数控超精密微型曲面磨床的几何精度以及工作精度和轴线的定位精度、重复定位精度的检验方法及相应的允差。本部分适用于最大工件直径为 200 mm一500 mm,最大工件长度为 50 mm一300 mm 的数控超精密微型曲面磨床(以下简称机床)。
| 激光干涉仪 | 用于测量直线度、定位精度和重复定位精度的高精度仪器。 |
| 电感测微仪 | 用于测量径向跳动和轴向窜动的高精度仪器。 |
| 高精度分度台 | 用于测量轴线的回转定位精度和重复定位精度的美利体育官网首页网址。 |
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