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美利体育登录入口官网:ASTM D7980-15
半导体工业用超纯水 (UPW) 随即样本中阴离子的离子色谱分析标准指南

Standard Guide for Ion-Chromatographic Analysis of Anions in Grab Samples of Ultrapure Water (UPW) in the Semiconductor Industry


标准号
ASTM D7980-15
发布
2015年
总页数
3页
替代标准
ASTM D7980-15(2023)
当前最新
ASTM D7980-15(2023)
 
 
引用标准
ASTM D1129 ASTM D5127
 
 
本体
离子色谱 超纯水 阴离子

本文件适用于拟含有痕量（ppt级）阴离子污染物的超纯水，污染物包括但不限于溴化物、氯化物、氟化物、硝酸盐、亚硝酸盐、磷酸盐和硫酸盐。为减少分析间的交叉污染，建议将单一污染物的浓度控制在约200 ppt，该限值仅为参考，具体需视应用场景而定。

本文件旨在指导半导体行业分析人员，通过阴离子监测确定离子交换树脂床的再生时机，并确保阴离子水平满足半导体器件制造用水要求。同时，本文件侧重于协助分析人员避免超纯水样品在采集后的污染，因为控制污染是量化痕量阴离子的主要挑战。

本文件不包含从水源采集样品的建议。在分析前，建议美利体育登录入口官网子样品的电导率，以确认其未超过最高标准溶液的电导值，防止高读数导致仪器污染。本文件未涵盖所有潜在的安全问题，使用者需自行建立安全健康实践并确定法规适用性。

术语描述
高密度聚乙烯
HDPE		一种常用于容器的塑料材料。
离子色谱仪
IC		用于分离和分析离子的仪器。
聚醚醚酮
PEEK		一种常用于色谱仪管道的材料。
十亿分之一
ppb		重量/重量的十亿分之一。
万亿分之一
ppt		重量/重量的万亿分之一。
超纯水
UPW		极高纯度的水，用于半导体行业。

美利体育登录入口官网: ASTM D7980-15 中提到的仪器美利体育官网首页网址

离子色谱仪

未指定		用于分析阴离子的仪器，需要特别注意清洁和低污染设置。

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