美利体育登录入口官网:DIN EN 60749-27:2013
半导体器件.机械和气候试验方法.第27部分:静电放电(ESD)敏感度检验.机器模型(MM).(IEC 60749-27-2006 + A1-2012).德文版本EN 60749-27-2006 + A1-2012
Semiconductor devices - Mechanical and climatic test methods - Part 27: Electrostatic discharge (ESD) sensitivity testing - Machine model (MM) (IEC 60749-27:2006 + A1:2012); German version EN 60749-27:2006 + A1:2012
- 标准号
- DIN EN 60749-27:2013
- 发布
- 2013年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.080.01 半导体器分立件综合
- 总页数
- 15页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 60749-27:2013-04
- 当前最新
- DIN EN 60749-27:2013-04
- 引用标准
- IEC 60749-26 IEC 61340-3-2
- 被代替标准
- DIN EN 60749-27:2007 DIN EN 60749-27/A1:2011
- 本体
- 待测器件 机器模型
- 适用范围
- 本文档规定了一种标准程序，用于测试和分类半导体器件在受到静电放电（ESD）后根据规定的机器模型（MM）可能受到的损坏或退化（性能下降）的敏感性。该程序可替代人体模型（HBM）的ESD测试程序使用。目的是获得可靠且可重复的ESD测试结果，以便进行正确的分类。该测试程序适用于所有半导体器件，并被归类为破坏性测试。半导体器件的ESD测试应力应根据本测试程序、人体模型（HBM；见IEC 60749-26）或IEC 60749系列中规定的其他ESD测试程序选择。MM测试程序和HBM测试程序均能产生相似但不完全相同的测试结果。除非另有规定，否则应使用HBM测试程序。 注1：在本测试程序中，由于测试电路中使用了高寄生电感，因此无法精确模拟来自真实机器或金属工具的放电，而真实机器和金属工具中没有电感，且放电曲线的上升时间约为100皮秒。 注2：本测试程序的部分内容符合IEC 61340-3-2的要求。
美利体育登录入口官网: DIN EN 60749-27:2013 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 电流测量转换器 带宽至少350 MHz | 用于测量通过短路桥或校准电阻的电流，是验证装置的一部分。 |
| 脉冲存储示波器 单脉冲带宽至少350 MHz | 用于验证MM电流脉冲波形的美利体育官网首页网址，是验证装置的一部分。 |
美利体育登录入口官网: DIN EN 60749-27:2013相似标准
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