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本规范适用于分辨力为0.005mm、0.01mm,测量范围(0~2000)mm各种规格的容栅数显标尺的校准。
| 激光干涉仪 作为专用测量装置的标准器 | 用于高精度线性位移测量的装置,可对温度和线膨胀系数影响进行自动修正。 |
| 专用测量装置 标准器为激光干涉仪或光栅尺 | 用于容栅数显标尺示值误差测量的专用美利体育官网首页网址,其扩展不确定度需满足 U<0.003 mm+10×10??L (k=2)。 |
| 光栅尺 作为专用测量装置的标准器 | 用于高精度线性位移测量的装置,可作为专用测量装置的替代标准器。 |
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