美利体育登录入口官网:ISO 24236:2005
表面化学分析.螺旋电子光谱法.强度标的重复性和持久性
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy - Repeatability and constancy of intensity scale
- 标准号
- ISO 24236:2005
- 发布
- 2005年
- 国际标准分类(ICS)
- 71.040.40 化学分析
- 总页数
- 22页
- 中文版
- GB/T 29558-2013 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 24236:2005
- 引用标准
- ISO 15472 ISO 17973 ISO 17974:2002 ISO 18118 ISO 7870 ISO 7873
- 本体
- 俄歇电子能谱仪
- 适用范围
- 本国际标准规定了用于一般分析目的、使用束流能量为 2 keV 或更高的电子枪评估俄歇电子能谱仪强度标度的稳定性和重复性的方法。 它仅适用于配备离子枪进行溅射清洁的仪器。 它并不是为了校准强度/能量响应函数。 该校准可以由仪器制造商或其他组织进行。 本程序提供数据来评估和确认强度/能量响应函数在仪器使用中保持恒定的准确性。 对可能影响这种稳定性的一些仪器设置给出了指导。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 平均峰峰值高度 average peak-to-peak height | 微分模式下 Cu L3VV 峰的平均峰峰值高度，记为 HL。 |
| 平均峰峰值高度分量 a value contributing to HL | 一组测量中第 j 次测量对 HL 的贡献值，记为 HLj。 |
| 平均最大强度 average maximum intensity | 直接模式下 Cu L3VV 峰的平均最大强度，记为 NL。 |
| 平均最大强度分量 a value contributing to NL | 一组测量中第 j 次测量对 NL 的贡献值，记为 NLj。 |
| 参数 parameter | 代表 HL、HM、NL、NM 或 HL/HM 任一参数平均值的参数，记为 Pi。 |
| 参数测量值 the jth measurement of a parameter | 参数 Pi 的第 j 次测量值，记为 Pij。 |
| 不确定度 uncertainty in the mean value | 参数 Pi 平均值在 95% 置信水平下的不确定度，记为 U95(Pi)。 |
| 半高全宽 peak full width at half maximum height | 峰的半高全宽，记为 W。 |
| 模拟系统扫描速率 analogue system scan rate | 模拟系统的扫描速率，记为 β。 |
| 容差限值 value of the tolerance limit | 在 95% 置信水平下符合性要求的 HL/HM 容差限值（由分析人员设定），记为 δ。 |
| 重复性标准偏差 repeatability standard deviation | 参数 Pi 的重复性标准偏差，记为 σ(Pi)。 |
| 模拟美利体育登录入口官网系统时间常数 analogue detection system time constant | 模拟美利体育登录入口官网系统的时间常数，记为 τ。 |
美利体育登录入口官网: ISO 24236:2005 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 俄歇电子能谱仪 配备电子枪（束能量≥2 keV）和离子枪 | 用于表面化学分析，评估强度标度的重复性和恒定性。 |
| 电子枪 束能量 2 keV 或更高 | 用于激发样品产生俄歇电子的部件。 |
| 离子枪 用于溅射清洁 | 用于清洁样品表面，去除污染物的部件。 |