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本标准规定了轮廓法测量工件表面结构的接触(触针)式仪器的计量特性校准的术语、原则、方法。 本标准适用于GB/T 6062-2002中阐述的轮廓法测量表面结构的接触(触针)式仪器计量特性的校准。该校准是借助于测量标准完成的。 附录A给出了测量图形法参数仪器的校准。 附录B适用于简化运算的接触(触针)式仪器的校准,此类仪器不...
| 光学平晶 用于表面结构校准的标准工具 | 平面光学元件,用于复现基准面以评估被测表面的轮廓特性。 |
| 触针式测量仪 符合GB/T 6062—2002标准 | 通过触针接触被测表面进行轮廓测量,广泛应用于表面结构分析。 |
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