| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 局部厚度 local thickness | 在参考区域内进行指定数量测量所得厚度的平均值。 |
| 光学显微镜 空间分辨率 500 nm 或更好 | 用于观察涂层横截面并测量厚度,适用于涂层厚度较大或精度要求较低的情况。 |
| 扫描电子显微镜 空间分辨率 50 nm 或更好 | 用于观察涂层横截面并测量厚度,可配备自动记录 XY 坐标的系统。 |
| 衍射板读数器 用于测量照片上的距离 | 用于测量显微照片上标线之间的垂直边缘距离,精度需达到 0.1 mm。 |
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