| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 更衣室 changing room | 人员可以穿上或脱下洁净室服装的房间。 |
| 空气净化装置 clean air device | 用于处理和分配洁净空气以达到特定环境参数的美利体育官网首页网址。 |
| 洁净度 cleanliness | 产品、表面、装置、气体、液体等处于其污染不超过规定水平的状态。注:可能存在颗粒污染,可能是生物、分子等类型。 |
| 调试 commissioning | 为将洁净室系统投入运行而进行的一系列计划测试和调整,以符合规定的要求。 |
| 污染物 contaminant | 任何可能对产品或工艺产生不利影响的物质(颗粒、分子和生物结构)。 |
| 非单向流 non-unidirectional airflow | 空气分布方式,其中进入洁净区的空气通过喷射气流与内部空气混合。 |
| 颗粒 particle | 按照 ISO 14644-1 定义。 |
| 预过滤器 pre-filter | 安装在另一个过滤器之前,旨在减少该过滤器污染的空气过滤器。 |
| 工艺核心 process core | 执行工艺过程并与环境进行交互的空间区域。 |
| 启动 start-up | 将洁净室及其所有子系统(包括完整文档、合格人员、辅助服务等)投入运行的一系列行动。 |
| 单向流 unidirectional airflow | 在整个洁净区横截面上具有恒定速度且流线大致平行的受控气流。注:此类气流直接将颗粒从洁净区带走。 |
| 风速仪 用于测量单向流速度 | 用于测量洁净室内气流速度,确保符合设计要求(如 0.2-0.5 m/s)。 |
| 压差计 用于测量压差 | 用于测量洁净室与相邻区域之间的压差,确保气流方向正确(通常 5-20 Pa)。 |
| 高效空气过滤器 HEPA 或 ULPA | 用于去除空气中颗粒物的最终过滤美利体育官网首页网址,通常安装在洁净室送风口。 |
Copyright ?2007-2026 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号
页面更新时间: 2026-08-26 00:19