| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 操纵系统精度 manipulation system precision | 焦点(或工作点)位置相对于预定路径的最大偏差,该偏差在X、Y或Z进给方向上垂直测量,或旋转夹具的平整度和旋转精度。此外,操纵系统精度还由运动系统引起的、相对于工件表面焊接或切割位置的设定位置,沿光束轴方向在任何方向上偏离实际固定点焦点位置的任何偏差来表征。 |
| 定位精度 positioning accuracy | 运动部件(工件、光学元件等)沿平移或旋转轴的定位精度和重复性。包括轴的平均反向值、单向和双向定位重复性以及双向定位精度。 |
| 轨迹精确度 trajectory exactness | 工具参考点的实际轨迹与期望轨迹之间的差异,前提是这种差异是由轨迹控制引起的。 |
| 光学测量装置(激光装置) | 用于测量操纵系统精度的校准测量装置之一。 |
| 千分表 | 用于测量直线度、垂直度、平行度及跳动量的美利体育官网首页网址。 |
| 圆柱方尺 | 用于测量工作台表面与Z方向运动垂直度的美利体育官网首页网址。 |
| 机械测量装置 | 用于测量操纵系统精度的校准测量装置之一。 |
| 电感测量装置 | 用于测量操纵系统精度的校准测量装置之一。 |
| 直尺 | 用于测量工作台或聚焦头直线度的美利体育官网首页网址。 |
| 运动拾取器 至少两个(每个坐标轴一个) | 用于检查轨迹精确度,记录运动信号以计算速度和轨迹偏差的美利体育官网首页网址。 |
| 钢直尺 | 用于测量工作台或聚焦头垂直度的美利体育官网首页网址。 |
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