| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 轮廓滤波器 profile filter | 将轮廓分离为长波和短波分量的滤波器 |
| 相位校正轮廓滤波器 phase correct profile filter | 不会导致相位偏移引起不对称轮廓失真的轮廓滤波器 |
| 相位校正滤波器平均线 phase correct filter mean line | 通过从相邻点导出的加权平均值确定的任何轮廓点的长波轮廓分量 |
| 滤波器的传输特性 transmission characteristic of a filter | 表示正弦轮廓振幅随其波长衰减程度的特性 |
| 加权函数 weighting function | 用于计算平均线的函数,指示每个点附近轮廓所附的权重 |
| 截止波长 cut-off wavelength of the phase correct filter | 正弦轮廓振幅的50%被轮廓滤波器传输时的波长 |
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