光学性能:根据被测物体被观测要求,通过选用不同的目镜\物镜来解决大倍数大视场等问题。只要求大倍数时,可通过更换大倍数目镜及物镜,要求看大视野时可通过更换物镜,减小目镜或换大视野目镜来达到要求...
陈宜方?????摘要: 综述了国内外在纳米加工X射线衍射光学透镜方面的研究现状和最新进展。介绍了作者团队过去三年在这方面做的工作。针对衍射透镜关键技术,研发了具有大高宽比形貌的电子束光刻基础工艺;结合金电镀,提出了纳米尺度波带片的制造技术,并将该工艺成功扩展于分辨率板(Siemens...
2.3 各种衍射光学部件的研制本文所研制的光学元器件包括X射线衍射金立柱及其列阵、菲涅尔波带片、分辨率板和光栅型均匀辐照的会聚镜。其工艺步骤如图 3所示。2.3.1 超高金立柱及其列阵作为无透镜成像的衍射元件,大高宽比金立柱是一个重要结构。运用图 3所示的工艺流程,本文在300 nm厚的SiNx上成...
2.4 波带片透镜的极限高宽比研究为了实现硬X射线的高效率成像,波带片透镜的绝对厚度和大高宽比一直是X射线光学技术发展追求的目标。然而,采用电子束光刻的手段能够实现的最大高宽比及其影响因素等方面的研究在国内外一直没有专门报道。本文综述了我们运用蒙特卡罗模拟法和显影动力学理论,结合实际电子束光刻的形貌...
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