| 术语 | 描述 |
|---|---|
| X射线荧光法测量系统 X-ray fluorescence method measuring system | 利用在测量材料或其载体材料中激发的X射线荧光辐射的厚度测量装置。该系统可包括用于测量和校正外部影响不利影响的补偿传感器。 |
| 测量头 Measuring head | 包含一个或多个辐射源和辐射探测器以及补偿传感器的美利体育官网首页网址部件,可用于测量和校正外部影响的不利影响。 |
| 测量系统电子部分 Electronic part of the measuring instrument | 包含电气和电子组件的美利体育官网首页网址部件,用于处理从测量头提供的电气量并提供适当形式的电气输出信号。 |
| 测试点 Test point | 测量系统中可以提取电信号的位置。 |
| 测试点A Test point A | 测量系统中可以以原始形式提取探测器输出信号的位置。 |
| 测试点B Test point B | 测量系统中输出测量值的位置。 |
| 其他测试点 Other test points | 测量系统中可以记录和评估测量系统信号的其他位置。 |
| 测量头支架 Measuring head holder | 用于固定测量头的机械单元。 |
| 固定支架 Fixed holder | 不移动的测量头支架。 |
| 伸缩装置 Retracting device | 可以从测量位置收回的测量头支架。 |
| 横向移动装置 Traversing device | 允许测量头横跨测量材料移动的测量头支架。 |
| 测量狭缝 Measuring gap | 在透射测量系统中,指辐射源和探测器外壳相对端面之间的距离;在背散射测量系统中,指辐射源或探测器外壳端面与测量材料背面或垫板表面之间的距离。 |
| 测量材料位置 Measuring material position | 测量材料在测量狭缝中的位置。 |
| 参考测量材料位置 Reference measuring material position | 通常进行校准的测量材料在测量狭缝中的位置。通常定义为从辐射源外壳表面或探测器外壳表面到相邻测量材料表面的特定距离。 |
| 测量面积 Measuring area | 在参考测量材料位置处的测量材料的面积。 |
| 总测量面积 Total measuring area | 在参考测量材料位置处的测量材料的最小面积,该面积产生输出信号最大值的100%。 |
| 有效测量面积 Effective measuring area | 在参考测量材料位置处的测量材料的面积,该面积提供输出信号与测量材料的面积变量之间的最佳相关性(通常位于总测量面积的65%至95%之间)。 |
| 条纹分辨率 Strip resolution | 沿工艺方向运行的恒定厚度材料条纹的宽度,其测量值为相同面质量无限宽条纹振幅的70%。 |
| 面质量 Area mass | 等于材料密度(单位体积质量)与该材料厚度乘积的量。面质量在实践中可以通过称重样品并除以其(上)面积来计算。 |
| 准确度 Accuracy | 显示值与公认标准值或正确值的一致程度。 |
| 重复性 Repeatability | 在相同输入值下,在相同运行条件下,对一系列连续测量的输出信号的一致程度。 |
| 标称范围 Nominal range | 制造商为美利体育官网首页网址指定的可测量、可观察、可输出或可调节的量值范围。 |
| 测量范围 Measuring range | 标称范围的一部分,在该部分内可以在规定的误差限内执行测量。 |
| 校准传递性 Transferability of calibration | 能够使用一套通用校准样品在两个或多个厚度测量装置中进行测量,并在规定的误差限内获得相同结果的能力。 |
| 分辨率 Resolution | 可以观察或美利体育登录入口官网到的测量量的最小变化。必须考虑测量信号的统计性质和所用测量方法的影响。 |
| 几何分辨率 Geometric resolution | 具有规定面质量的校准样品在指定方向上可以以给定准确度测量的最小长度。 |
| 电气不稳定性 Electrical instability | 在参考条件下,所有影响量保持恒定且辐射探测器未受辐射时,输出信号的波动。 |
| 总辐射波动 Total radiometric fluctuation | 在参考条件下,所有影响量保持恒定且辐射探测器受辐射时,输出信号的波动。 |
| 时间响应 Time response | 在固定输入量和固定运行条件下,输出信号随时间变化的函数。 |
| 模拟信号输出 Analog signal output | 模拟形式的信号输出。 |
| 平均响应时间 Mean response time | 测量量发生阶跃变化后,输出信号首次达到其稳态平均值特定百分比(通常为63.2%)所需的平均时间。 |
| 平均模拟稳定时间 Mean analog settling time | 输入信号发生阶跃变化后,平均输出信号在噪声带(±2σ)内达到并保持在稳态平均值所需的最短时间。 |
| 数字信号输出 Digital signal output | 数字形式的信号输出。 |
| 采样时间 Sampling time | 收集测量量信息并转换为单个数字值的时间段。 |
| 采样率 Sampling rate | 单位时间内对测量量的采样次数。 |
| 积分时间 Integration time | 通常以采样时间的倍数表示,测量量的数值在此时间段内以特定方式平均(例如滑动平均)。 |
| 平均数字稳定时间 Mean digital settling time | 输入信号发生阶跃变化后,平均输出信号在噪声带(±2σ)内达到并保持在稳态平均值所需的最短时间。 |
| 数字恢复时间 Digital recovery time | 测量条件发生阶跃变化后,输出信号从无测量材料的测量狭缝值上升到具有测量材料的测量范围内指定值,并保持在噪声带(±2σ)界限内所需的时间。 |
| 线性度 Linearity | 校准曲线接近直线的程度。 |
| 诊断装置 Diagnostic equipment | 使操作员能够确定系统是否按约定方式工作的系统装置。这些装置通常包括具有中间输出和输入阈值的分析算法以及用于状态描述的工具。 |
| 横向移动偏差 Traversing deviation | 当校准样品在参考测量材料位置下在参考条件下测量时,测量头沿横向移动装置全长移动时显示的偏差。 |
| 影响量 Influence quantity | 原则上在美利体育官网首页网址外部,影响其性能的任何量。 |
| 参考条件 Reference conditions | 一组具有容差或受限范围的影响量和(如需要)影响量,用于比较测量和校准。 |
| 使用范围 Operating range | 影响量的值范围,在此范围内规定的误差限得到遵守。 |
| 测量材料位置偏差 Measuring material position deviation | 测量材料在测量狭缝中垂直于测量材料位置移动时显示的偏差。 |
| 测量头位置偏差 Measuring head position deviation | 透射法测量系统由于测量头相对移动而引起的显示偏差。这包括距离和角度偏差。 |
| X轴测量头位置偏差 Measuring head position deviation in the X-axis | 测量头沿测量材料前进方向垂直于辐射源-探测器轴线线性移动引起的显示偏差。 |
| Y轴测量头位置偏差 Measuring head position deviation in the Y-axis | 测量头沿垂直于测量材料前进方向垂直于辐射源-探测器轴线线性移动引起的显示偏差。 |
| Z轴测量头位置偏差(测量狭缝变化) Measuring head position deviation in the Z-axis (change of measuring gap) | 测量头沿辐射源-探测器轴线线性移动引起的显示偏差。 |
| 测量材料组成的影响 Influence of measuring material composition | 由于测量材料组成的变化而引起的显示偏差。 |
| 外来层堆积偏差 Deviation due to buildup of foreign layers | 由于测量头窗口上堆积外来材料(污垢)而引起的显示偏差。 |
| 空气路径的影响 Influence of air path | 由于测量期间空气路径密度变化(由空气压力或温度变化引起)而引起的显示偏差。 |
| 对外部噪声影响的敏感性 Sensitivity to external noise influences | 由于外部噪声源(发射电磁或高能辐射)的影响而引起的显示偏差。 |
| 调平装置 Adjustment device | 系统的一种自动、半自动或手动装置,用于在特定条件下测量时调整测量信号输出;例如空测量狭缝、内置衰减器或关闭的屏蔽装置。 |
| 静电充电的影响 Influence of electrostatic charging | 由于静电场引起的显示偏差。这些场通常与测量材料的静电充电有关。 |
| 厚度测量装置 Thickness measuring device | 配备有电离辐射源,旨在通过电离辐射无损测量测量材料厚度的测量装置。 |
| 透射法测量系统 Transmission method measuring system | 利用穿过测量材料的电离辐射的厚度测量装置。辐射源和辐射探测器位于测量材料的相对两侧。该系统可包括用于测量和校正外部影响不利影响的补偿传感器。 |
| 背散射法测量系统 Backscattering method measuring system | 利用从测量材料或测量材料垫板背散射的电离辐射的厚度测量装置。辐射源和辐射探测器位于测量材料的同一侧。该系统可包括用于测量和校正外部影响不利影响的补偿传感器。 |
| 示波器 | 用于观察和分析信号波形的美利体育官网首页网址。 |
| 光谱仪 | 用于进行光谱分析的美利体育官网首页网址。 |
| 实验室PC系统 具有高速数据采集模块 | 用于数据采集、统计数据处理、计算变量(如厚度)处理、数据表格表示和处理的美利体育官网首页网址。 |
| 电压测量仪 | 用于测量电压信号的美利体育官网首页网址。 |
Copyright ?2007-2026 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号
页面更新时间: 2026-09-06 08:23