美利体育登录入口官网:GB/T 16945-1997
电子工业用气体 氩
Gases for electronic industry--Argon
GBT16945-1997, GB16945-1997
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- 标准号
- GB/T 16945-1997
- 别名
- GBT16945-1997
GB16945-1997 - 发布
- 1997年
- ICS
-
71.100.20
- 总页数
- 4页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 替代标准
- GB/T 16945-2009
- 当前最新
- GB/T 16945-2009
本标准规定了电子工业用氩的技术要求、试验方法和包装、标志。 本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩。电子工业用氩气用于系统的吹扫、保护和增压，它还可用于化学气相淀积、溅射，等离子及活性离子 刻蚀剂和退火等不同工艺中。 分子式：Ar 相对分子质量：39.948（按1991年国际相对原子质量）
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