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该文件规定了根据能力批准程序评估用于电子美利体育官网首页网址的薄膜和混合集成电路的质量评估程序和测试方法。它还适用于提供给客户进行后续加工的部分成品美利体育官网首页网址。#,,#
| 激光修调机 未指定 | 用于厚膜或薄膜电阻的精确阻值调整的美利体育官网首页网址。 |
| 烧结炉 未指定 | 用于厚膜浆料固化(烧制)的高温美利体育官网首页网址。 |
| 真空沉积美利体育官网首页网址 未指定 | 用于薄膜制造过程中材料沉积的美利体育官网首页网址。 |
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