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美利体育登录入口官网:T/CHBAS 47-2023
电子工业用气体 六氟丙烷

Hexafluoropropane gas for electronic industry


标准号
T/CHBAS 47-2023
发布
2023年
国际标准分类(ICS)
71.100.20 工业气体   
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CHBAS 47-2023
 
 
适用范围
本文件规定了电子工业用气体六氟丙烷（以下简称六氟丙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、 标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业六氟丙烷为原料经纯化制备的电子工业用六氟丙烷，它在电子工业等离子蚀 刻工艺中作为蚀刻气体。

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