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硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额
Energy Consumption Quotas per Unit Product for Silicon Single Crystal Ingots and Single Crystal Silicon Wafers
- 标准号
- DB31/T 792-2026
- 发布
- 2026年
- 国际标准分类(ICS)
- 27.010 能源和热传导工程综合
- 总页数
- 10页
- 发布单位
- 上海市标准
- 当前最新
- DB31/T 792-2026
- 引用标准
- GB 17167 GB/T 12723 GB/T 14264 GB/T 2589
- 被代替标准
- DB31/T 792-2020
- 适用范围
- 本文件规定了硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法及节能降耗导向。本文件适用于半导体级硅单晶棒和单晶硅片（包括单晶硅抛光片、单晶硅外延片，以下统称“单晶硅片”）生产企业单位产品能源消耗的计算、考核以及对新建项目单位产品能源消耗的控制。
美利体育登录入口官网: DB31/T 792-2026 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 单晶炉 未指定 | 用于直拉法拉制硅单晶棒的生产美利体育官网首页网址。 |
| 外延炉 未指定 | 用于在单晶硅抛光片上生长单晶硅薄膜的美利体育官网首页网址。 |
