| 术语 | 描述 |
|---|---|
| Ausheizen bakeout | 通过提高部件温度以增加脱气速率,从而减少部件内部分子污染物的活动。通常在真空环境下进行。 |
| Reinraum cleanroom | 控制悬浮颗粒浓度的空间,设计和使用以最小化颗粒的进入、产生和滞留,并可控制温度、湿度和压力等参数。 |
| CVCM collected volatile condensable material | 在特定温度和时间条件下从样品中脱出并在收集器上冷凝的物质总量,以样品初始质量的百分比表示。 |
| Ausgasen outgassing | 样品在高真空条件下释放气态物质的过程。 |
| QCM quartz crystal microbalance | 利用石英晶体振荡特性测量沉积在石英晶体上微小质量的美利体育官网首页网址。 |
| TML total mass loss | 材料在特定温度、压力和时间条件下脱气的总质量损失,以初始质量的百分比表示。 |
| Quarzkristall-Mikrowaage QCM | 用于测量沉积在石英晶体上的微小质量变化的精密仪器。 |
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