美利体育登录入口官网:AEC Q103-002A
微机电系统(MEMS)压力传感器器件基于失效机理的应力测试认证
Failure Mechanism Based Stress Test Qualification for Micro Electro-Mechanical System (MEMS) Pressure Sensor Devices
- 标准号
- AEC Q103-002A
- 发布
- 2023年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.080.99 其他半导体分立器件 31.260 光电子学、激光美利体育官网首页网址
- 总页数
- 34页
- 发布单位
- 汽车电子委员会
- 引用标准
- DIN 50018 EN 60068-2-60 ISO 16750-5
- 本体
- 失效机制 资格
- 适用范围
- 本文件包含一套针对微机电系统(MEMS)压力传感器技术的基于失效机理的应力测试，需与AEC-Q100标准配合使用。标准适用于汽车电子行业的MEMS压力传感器器件，旨在通过加速测试暴露设计或工艺缺陷，但不应用于盲目测试，需要针对具体项目评估潜在失效机制和测试适用性。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 共集成 Co-integrated | 指压力传感元件集成到信号调理集成电路中，并安装在带有开放腔（凝胶覆盖或无凝胶）的封装内的配置。 |
| 压力传感器 Pressure Sensor | 美利体育登录入口官网压力并产生电信号的装置，包括MEMS压力传感元件和信号调理电路。 |
| 过模 Overmolding | 在压力传感元件和信号调理IC组装后，在周围注入塑料材料以形成封装的过程。 |
| 裸芯片交付 Bare Die Delivery | 指仅交付未封装的硅微机械加工压阻式压力传感元件的配置。 |
| 气密性封装 Hermetic Package | 一种能够防止气体或液体进入封装内部的封装类型（本规范主要针对非气密性封装）。 |
| 结温 Junction Temperature | 器件内部半导体结的温度，在进行偏置测试时，应等于或高于该等级的环境热温度。 |
| 加速寿命测试 Accelerated Life Test | 在高于正常使用条件的应力下进行的测试，以在较短时间内揭示潜在的失效机制。 |
美利体育登录入口官网: AEC Q103-002A 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 压力测试仪 根据测试需求定制，用于进行爆破压力测试和验证压力测试 | 用于对传感器施加特定压力（如3倍或5倍满量程压力）以验证其结构完整性的美利体育官网首页网址。 |
| 温箱 符合AEC-Q100温度循环要求 | 用于执行温度循环（TC）、高温存储（HTSL）和高温工作寿命（HTOL）等测试。 |
| 盐雾腐蚀试验箱 符合MIL-STD-883 Method 1002或DIN 50018 | 用于执行盐水浸泡测试或含硫气体腐蚀测试，评估传感器在腐蚀性环境下的性能。 |
| 高加速应力试验箱 符合JEDEC JESD22-A118或AEC-Q100标准 | 用于执行无偏置HAST（UHST）或偏置HAST/THB测试，模拟高温高湿环境。 |