美利体育登录入口官网:DIN EN ISO 25178-601 E:2008-03
产品几何技术规范(GPS) 表面结构：平面的 第601部分：接触式(触针式)仪器的标称特性（草案）
Geometric Product Specification (GPS) Surface Structure: Planar Part 601: Nominal Characteristics of Contact (Stylus) Instruments (Draft)
- 标准号
- DIN EN ISO 25178-601 E:2008-03
- 发布
- 2008年
- 总页数
- 23页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN ISO 25178-601:2011-01
- 当前最新
- DIN EN ISO 25178-601:2025-12
- 引用标准
- ISO 10360-1 ISO 14978 ISO 3274:1996 ISO 4287
- 本体
- 表面形貌 计量特性
- 适用范围
- 本文件规定了用于测量表面形貌的接触式轮廓仪的计量特性。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 仪器坐标系 Instrument coordinate system | 右手正交坐标系 (X, Y, Z)，其中 (X, Y) 位于由仪器基准导轨面建立的平面内，Z 轴位于触针的运动平面内并垂直于 (X, Y) 平面。 |
| 测量回路 Measurement loop | 包含连接工件和触针尖端的所有组件的闭合链，例如定位装置、工件夹具、测量支架、驱动单元、触测系统（传感器、拾取器）。 |
| 工件实际表面 Actual surface of a workpiece | 物理上存在并分隔工件与周围介质的几何要素集合。 |
| 偏差（测量偏差） Deviation (measurement deviation) | 被测量的测量值与该量的参考值之间的差。 |
| 系统偏差 Systematic deviation | 在重复测量中保持恒定或以可预测方式变化的测量偏差分量。 |
| 随机偏差 Random deviation | 在重复测量中以不可预测方式变化的测量偏差分量。 |
| 校准（测量仪器） Adjustment (of a measuring instrument) | 使测量仪器进入适合其使用的运行状态的操作。 |
| 用户校准（测量仪器） Adjustment by the user (of a measuring instrument) | 仅使用用户可用手段进行的校准操作。 |
| 修正 Correction | 应用于测量值以消除已知系统偏差的更改。 |
| 偏差修正余量 Remainder of the correction of a deviation | 系统偏差修正后获得的量值与该量的实际值之间的差。 |
| 横向栅格系统 Lateral raster system | 执行在 (X, Y) 平面上对待测表面进行栅格化的系统。 |
| 基准导轨面 Reference guiding surface | 仪器的组件，用于产生基准面，触测系统相对于待测表面沿该基准面按理论上精确的轨迹移动。 |
| X（或 Y）驱动单元 Drive unit for X (or for Y) | 仪器的组件，使触测系统或待测面沿基准导轨面沿 X 轴（或 Y 轴）方向移动，并提供触针尖端的水平位置作为轮廓的横向 X 坐标（或 Y 坐标）。 |
| 横向位置传感器 Lateral position sensor | 驱动单元的组件，提供旋转销的横向位置。 |
| 触测系统 Stylus system | 仪器的组件，由触针、旋转销、传感器和数字化系统组成。 |
| 传感器 Pick-up | 将高度信息转换为测量信号的美利体育官网首页网址。 |
| 数字化系统 Digitizing system | 将模拟信号转换为数字信号的美利体育官网首页网址。 |
| 触针 Stylus | 由尖端和臂组成的机械装置。 |
| 弧形运动偏差 Deviation due to arc motion | 触针绕旋转销旋转产生的偏差。 |
| 计量特性 Metrological properties | 可能影响测量结果的测量美利体育官网首页网址属性。 |
| 测量体积 Measurement volume | 由仪器测量的三个坐标的界限所确定的仪器范围。 |
| 滞后 Hysteresis | 测量美利体育官网首页网址或其属性的属性，其中美利体育官网首页网址的显示或属性值取决于驱动装置的先前方向。 |
| 传递函数 Transfer function | 描述实际量与测量量之间关系的函数的图形表示。 |
| 放大系数 Gain coefficient | 从传递函数获得的线性回归函数的斜率。 |
| 仪器噪声 Instrument noise | 当仪器理想地置于无干扰环境中时，由仪器引起的内部噪声，叠加在输出信号上。 |
| 统计噪声 Statistics noise | 输出信号中仪器噪声和环境噪声的总和，没有横向栅格系统的任何运动。 |
| 动态噪声 Dynamic noise | 驱动单元运动期间在输出信号中出现的噪声。 |
| X 方向（或 Y 方向）采样间隔 Sampling interval in X (or Y) direction | 沿 X 轴（或 Y 轴）方向两个相邻测量点之间的距离。 |
| Z 方向数字化步长 Digitizing step in Z direction | 采集表面两个纵坐标值之间沿 Z 轴的最小高度变化。 |
| 横向分辨率 Lateral resolution | 可美利体育登录入口官网到的两个几何要素之间的最小距离。 |
| 全高度传输宽度限制 Width limit for full height transmission | 窄矩形沟槽的宽度，其测量高度在测量中保持不变。 |
| 最大局部斜率 Maximum local slope | 触测系统可评估的表面要素的最大局部斜率。 |
| 静态测量力 Static measuring force | 静止触针尖端在其平均位置对表面施加的力。 |
| 动态测量力 Dynamic measuring force | 触针在连续移动通过表面时由加速度引起的力。 |
| 测量速度 Measuring speed | 触测系统相对于待测表面沿 X 轴方向测量时的速度。 |
| 触测系统特性 Characteristics of the stylus system | 触测系统的机械和电气特性，它们共同影响输出信号。 |
| 触测系统动态 Dynamics of the stylus system | 输出信号开始被扭曲的采样速度的最大值。 |
美利体育登录入口官网: DIN EN ISO 25178-601 E:2008-03 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 接触式轮廓仪 未提及 | 用于测量表面形貌的仪器，通过触针与表面接触来获取高度信息，具有特定的计量特性如噪声、滞后、线性度等。 |
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