美利体育登录入口官网:LST EN ISO 14644-15:2018
洁净室和受控环境 第15部分：根据空气中化学物质的浓度评估美利体育官网首页网址和材料的适用性（ISO 14644-15:2017）
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO 14644-15:2017)
- 标准号
- LST EN ISO 14644-15:2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 立陶宛标准局
- 当前最新
- LST EN ISO 14644-15:2018
- 引用标准
- ISO 14644-8:2013
- 本体
- 适用性评估
- 适用范围
- ISO 14644-15:2017 规定了用于洁净室及相关受控环境的美利体育官网首页网址与材料的化学空气洁净度评估的要求与指南，该评估依据化学浓度将洁净度等级与 ISO 洁净度标准（见 ISO 14644-8）相联系。以下事项不在 ISO 14644-15:2017 的适用范围内：- 健康与安全要求；- 与清洁剂及清洁技术的相容性；- 可清洁性；- 生物污染；- 特定工艺与产品所用美利体育官网首页网址与材料的专用要求；- 美利体育官网首页网址的设计细节。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 空气化学污染 air chemical contamination | 空气中任何非颗粒化学物质，其化学性质可能对产品、工艺或美利体育官网首页网址产生不利影响。 |
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| 美利体育官网首页网址 | 预期用于洁净室及相关受控环境中的美利体育官网首页网址，需评估其化学空气清洁度。 |
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