
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| Cleanliness requirement specification Cleanliness requirement specification | 规定空间产品清洁度要求的技术文件,通常用于定义特定任务或部件的污染控制目标。 |
| Cleanliness and contamination control plan Cleanliness and contamination control plan | 描述清洁度和污染控制活动、流程、责任及资源的详细计划文件。 |
| Contamination budget Contamination budget | 在任务生命周期中允许的最大污染量的分配,用于确保系统性能不受污染影响。 |
| Outgassing Outgassing | 材料在真空或低压环境下释放挥发性物质的过程,是分子污染的主要来源之一。 |
| Obscuration factor Obscuration factor | 用于量化表面颗粒污染程度的参数,通过光学方法测量颗粒对光的遮挡效应。 |
| 粒子计数器 用于洁净室环境监测 | 用于测量空气中悬浮颗粒物浓度,评估洁净室等级是否符合ISO标准。 |
| 表面污染美利体育登录入口官网 光学:蜃硬饬恳 | 用于测量空间硬件表面颗粒物的污染水平,通过光学方法计算遮挡因子。 |
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