美利体育登录入口官网:SJ/T 31112-1994
WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for WGK micro-control diffusion system
SJT31112-1994, SJ31112-1994
- 标准号
- SJ/T 31112-1994
- 别名
- SJT31112-1994, SJ31112-1994
- 发布
- 1994年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.550 电子产品生产美利体育官网首页网址
- 总页数
- 6页
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31112-1994
- 适用范围
- 本标准规定了WGK型微控扩散系统的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于WGK型微控扩散系统。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 恒温区长度 Isothermal Zone Length | 达到稳定温度及精度时炉管内连续温区的长度。 |
| 静态 Static | 炉管两端用耐火材料基本封闭，炉膛无明显气流扰动的情况。 |
| 升温功率 Heating Power | 从室温升至工作温度的过程中所需的最大功率。 |
| 恒温功率 Isothermal Power | 达到稳定 1200℃时维持恒温所需的功率。 |
| 单点温度稳定性 Single-point Temperature Stability | 达到稳定工作温度后炉管中点在规定时间内温度的偏差。 |
| 定值重复性 Set-point Repeatability | 改变定值而后重新回到原定值时温度的偏差。 |
| 开机重复性 Power-on Repeatability | 指关炉 24h 后重新开机达到工作温度与精度，其稳定温度与关炉前温度的偏差。 |
| 层间影响 Inter-layer Influence | 多管炉中一管工作时，相邻管对管的影响。 |
美利体育登录入口官网: SJ/T 31112-1994 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| He 检漏仪 无具体型号 | 用于美利体育登录入口官网气路系统漏气率的美利体育官网首页网址。 |
| WGK 型微控扩散系统 标准型：300-1200℃；高温型：300-1300℃ | 一种用于半导体工艺的微控扩散美利体育官网首页网址，包含微机控制系统、电气系统、气路系统等。 |
| 尘埃粒子计数器 无具体型号 | 用于测量净化台操作面净化级别的美利体育官网首页网址。 |
| 标准铂铑一铂测量热电偶 无具体型号 | 用于测量炉膛中点温度的标准测温美利体育官网首页网址。 |