| 厚度测量装置 量程100μm以下准确度1μm;量程100μm至250μm准确度2μm;量程250μm以上准确度3μm | 装置由一个下平面和另一个平面或圆弧形的上表面组成,所有表面应被抛光。测量面直径或曲率半径及施加的力需符合特定要求。 |
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