| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 俄歇电子能谱 Auger electron spectroscopy | 一种表面分析技术,用于研究材料的表面化学成分。 |
| 二次离子质谱 secondary-ion mass spectrometry | 通过离子轰击样品表面并分析产生的二次离子来研究表面成分的技术。 |
| X射线光电子能谱 X-ray photoelectron spectroscopy | 利用X射线激发样品表面原子,通过分析发射的光电子来研究表面化学成分的技术。 |
| 表面污染 surface contamination | 样品表面因接触外部环境或处理不当而引入的不需要的物质。 |
| 真空兼容性 vacuum compatibility | 材料在真空环境中不释放气体或污染物的能力。 |
| 光学显微镜 | 用于初步检查样品表面的美利体育官网首页网址。 |
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