本文件规定了利用气泡发射技术美利体育登录入口官网或定位密封容器泄漏的通用程序。该方法适用于定性判断,旨在确定泄漏位置而非测定总泄漏率。其常规灵敏度极限为4.5×10??? mol/s(1×10?? Std cm?/s)。
本文件描述了两种主要技术:浸没法与液体薄膜法。浸没法适用于可完全浸入的容器,通过观察气泡大小近似估算泄漏尺寸;液体薄膜法适用于无法浸没或仅单侧可接近的组件,利用真空盒辅助美利体育登录入口官网。两种方法均不适用于精确测量泄漏速率。
本文件规定的美利体育登录入口官网精度基于“通过/不通过”判定原则。对于4.5×10??? mol/s及以上量级的泄漏,定位精度为±5%;更小泄漏的精度取决于操作人员技能。重复性与再现性测试表明,在相同或不同操作人员条件下,美利体育登录入口官网结果波动分别控制在±5%和10%以内。本文件采用国际单位制(SI)数值,未包含其他计量单位。
| 压力室 | 用于对测试样本施加高压的密封容器 |
| 真空室 | 用于浸没技术的真空测试环境,配备观察端口 |
| 真空箱 | 用于真空技术测试的美利体育官网首页网址,可创建真空环境进行泄漏美利体育登录入口官网 |
智能手机、平板电脑、游戏机、导航系统、纯平显示器,这些以及其他很多高科技产品由于半导体产业才得以存在。没有该产业,现代传播媒体中使用的内存芯片和处理器就无法生产出来。它们的生产需要极其洁净的真空条件并精确地进行监测。例如,在半导体生产设施(被称为“晶圆厂”)投入运行后,需要以测量压力上升的方式进行...
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