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美利体育登录入口官网:ASTM F1512-94(2011)
溅射目标垫板部件的超声波C扫描粘结评估的标准操作规程

Standard Practice for Ultrasonic C-Scan Bond Evaluation of Sputtering Target-Backing Plate Assemblies

已作废

标准号

ASTM F1512-94(2011)

发布

1994年

国际标准分类(ICS)

19.100 无损美利体育登录入口官网   

总页数

5页

当前最新

ASTM F1512-94(2011)

 

 

引用标准

ASTM E1001 ASTM E127 ASTM E1316 ASTM E428

本文件规定了利用超声美利体育登录入口官网技术对溅射靶材与其支撑背板之间结合面声密性的映射评估方法。该方法旨在通过美利体育登录入口官网结合界面中的未结合区域，预测靶材组件的适用性。美利体育登录入口官网可识别直径不小于3毫米的未结合缺陷，并能对焊料结合中的空洞面积进行定量测量。

本文件适用于采用填充材料（如焊料、环氧树脂或钎料）进行平面结合的靶材组件。其设计需确保存在至少一个与结合面平行的平面，作为超声波激励的入射/出射表面。本文件仅涵盖浸没式脉冲回波法，原则上属于无损美利体育登录入口官网，但对于遇水易受损的孔隙性靶材，应视为破坏性美利体育登录入口官网。

本文件作为对通用超声美利体育登录入口官网实践的补充，重点规范了C扫描显示模式的操作与数据评估，旨在统一美利体育登录入口官网技术，促进不同实验室间结果的可比性。本文件不规定具体的合格/不合格判定标准，该标准需由靶材供应商与用户根据具体应用需求协商确定。

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