美利体育登录入口官网:ASTM E2088-06
清洁室和相关受控环境中粒子沉积物测量用选择、制备、陈列和分析参考表面的标准实施规范
Standard Practice for Selecting, Preparing, Exposing, and Analyzing Witness Surfaces for Measuring Particle Deposition in Cleanrooms and Associated Controlled Environments
- 标准号
- ASTM E2088-06
- 发布
- 2006年
- 国际标准分类(ICS)
- 13.040.35 清洁室（无菌室）及相关受控环境
- 总页数
- 5页
- 替代标准
- ASTM E2088-06(2011)
- 当前最新
- ASTM E2088-06(2021)
- 引用标准
- ASTM E1216 ASTM F24 ASTM F312 ISO 14644-1
本文件规定了洁净室及其他受控环境中粒子沉降（或落尘）测量的标准化方法。该方法基于使用见证表面收集来自周围环境的粒子，并采用常规方法对粒子进行尺寸测量和计数。文件介绍了多种可选方案，并提供了针对特定应用选择最佳方案的限制条件与指导原则。
本文件适用于航空航天、微电子、制药等多个行业。其旨在协助选择、制备、暴露及分析见证表面，以表征洁净室及相关受控环境中的粒子沉降速率，尤其适用于航空航天应用。要求可定义为粒子粒径分布与计数、面积覆盖率百分比，或产品性能标准（如光学透过率或散射）。
本文件未涵盖所有与使用相关的安全问题。用户有责任建立适当的安全与健康实践，并在使用前确定适用性法规限制。文件中采用的数值以国际单位制（SI）为准。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 双向反射分布函数 Bidirectional Reflectance Distribution Function (BRDF) | 表面反射光的散射特性，表示为辐射出射度的微分输出与辐射入射度的微分输入之比。表面污染物将入射辐射向各个方向散射，强度可变。BRDF 是一种量化散射能量空间分布的方法。 |
| 洁净度等级 Cleanliness Level | 在给定区域、体积或组件上允许的最大污染物量。 |
| 洁净室 Cleanroom | 通过设计和运行控制温度、湿度和空气污染物的一种环境受控区域。通常需要使用高效空气过滤器（HEPA）或更好的过滤器才能达到空气洁净度等级。空气粒子洁净度根据 FED-STD-209 或 ISO 14644-1 进行分类。 |
| 污染物 Contaminant | 可能影响或降低其所在组件性能的分子和颗粒物质。 |
| 污染 Contamination | 污染的过程。 |
| 污染控制 Contamination Control | 控制污染水平的有组织行动。 |
| 受控区域 Controlled Area | 作为洁净室运行的环境受控区域，但未使用洁净室中使用的最后一级 HEPA（或更好）过滤器。 |
| 关键表面 Critical Surface | 任何需要满足既定洁净度等级要求的物品或产品表面。 |
| 等效性验证 Demonstrated Equivalence | 测量方法通过一系列测试，证明其结果与标准测量结果等效的状态。 |
| 环境受控区域 Environmentally Controlled Area | 洁净室、受控区域、良好清洁区域和其他 enclosure，旨在保护硬件免受污染。通过控制空气纯度、温度、湿度、材料、服装和人员活动来实现洁净度。 |
| 纤维 Fiber | 长度大于 100 微米且长径比大于或等于 10 的颗粒。 |
| 图像分析 Image Analysis | 使用显微镜、成像传感器和专用计算机系统的组合，测量小物体的尺寸、形状、数量、位置、方向、亮度和其他参数。图像分析可用于自动执行粒子计数或测量粒子尺寸，其精度远高于手动技术。 |
| 微米 Micrometre (?m) | 等于百万分之一米的测量单位，或约为 39 百万分之一英寸。例如，25 微米约为 0.001 英寸。术语“微米”（micron）曾被使用，但不是推荐的 SI 单位。 |
| 非挥发性残留物 Nonvolatile Residue (NVR) | 过滤挥发性流体蒸发后或气体相沉淀后剩余的溶解物质，通常以每单位面积（或体积）的毫克数报告。 |
| 粒子沉积 Particle Deposition | 由于洁净室或其他受控环境中的静电或动态条件（或两者兼有），导致空气中的粒子沉降到表面上的过程。 |
| 粒子沉降 Particle Fallout (PFO) | 欧洲航空航天社区使用的一种标准粒子沉积方法，使用黑色玻璃见证表面，并以百万分比测量粒子散射。 |
| 粒子尺寸 Particle Size | (1) 在光学显微镜下观察到的粒子在观察平面上的表观最大线性尺寸；(2) 自动仪器美利体育登录入口官网到的粒子的等效直径。等效直径是具有已知特性的参考球体的直径，该球体在传感仪器中产生与待测粒子相同的响应；(3) 在观察平面内，通过图像分析观察到的与粒子投影面积相同的圆的直径；(4) 由测量技术和校准程序定义的尺寸。 |
| 颗粒污染 Particulate Contamination | 固体物质的离散质量，尺寸通常以微米（?m）测量，会对组件的关键表面产生不利影响，从而影响系统性能。 |
| 百分比面积覆盖率 Percent Area Coverage (PAC) | 被粒子覆盖的表面部分，报告为总粒子投影面积除以表面总面积的百分比。 |
| 精密清洗 Precision Cleaning | 根据既定设施方法或客户指定或提供的方法对硬件表面进行清洗，并验证达到指定的洁净度等级。 |
| 肉眼可见清洁 Visibly Clean | 在指定距离下，以正常（或矫正至正常）视力并在指定照明水平下观察时，不存在颗粒或分子污染物。 |
| 见证表面 Witness Surface (WS) | 一种对污染敏感的材料，用于替代直接评估特定表面，当该表面无法接触或过于敏感而无法处理时。 |
| 光学见证表面 Optical Witness Surface (OWS) | 可以通过光学方法分析污染物的见证表面。 |
| 粒子见证表面 Particle Witness Surface (PWS) | 可以通过标准光学或电子显微镜方法分析颗粒污染物的见证表面。 |
美利体育登录入口官网: ASTM E2088-06 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 石英晶体微天平 带粘合表面 | 可原位测量累积质量。 |
| PFO 光度计 Euramark Model 255 | 用于粒子沉降（PFO）测量的仪器，使用光滑的黑色玻璃板，有效采样表面为直径 25 毫米的圆形。 |
| 光学显微镜 可测量最小 5 微米尺寸 | 用于对粒子进行尺寸测量和计数的美利体育官网首页网址。 |
| 实验室天平 分辨率 0.01 mg | 用于重量法测量，通过称量过滤后的膜滤器来确定沉积物的重量。 |
| 散射仪 适用于 BRDF 测量 | 用于对光学见证表面（OWS）进行双向反射分布函数（BRDF）测量的美利体育官网首页网址。 |
| 表面扫描仪 由 Estek, Tencor, VLSI, Q3 等制造 | 设计用于美利体育登录入口官网硅片或圆盘上的缺陷，也可用于美利体育登录入口官网表面污染，报告为面积缺陷（通常为平方微米）。 |
