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美利体育登录入口官网:ASTM F1809-02
蚀刻溶液的选择与使用指南

Guidelines for the Selection and Use of Etching Solutions


标准号
ASTM F1809-02   中文首页
发布
2002年
总页数
9页
当前最新
ASTM F1809-02
 
 
引用标准
ASTM C18 ASTM C28 ASTM C35 ASTM D5127 ASTM F1725 ASTM F1726 ASTM F1727 ASTM F1810
 
 
本体
硅片

本文件规定了用于揭示硅片结构缺陷的化学溶液的选择、配制及使用方法。通过特定的腐蚀液，可识别影响硅器件电路性能与产率的晶体缺陷。成功实施腐蚀工艺的关键因素包括样品制备、温度控制、腐蚀技术及腐蚀剂的选择。本文件提供了多种腐蚀溶液的信息，供用户根据实际需求进行选择。

本文件未涵盖所有与使用相关的安全问题。用户有责任在使用前建立适当的安全与健康实践，并确定相关法规限制的适用性。关于硅片上优先腐蚀或装饰表面缺陷的计数测试方法，可参见相关测试标准。

术语描述
腐蚀液
Etching Solution		一种化学溶液，用于通过化学反应暴露硅片中的结构缺陷。
氧化 stacking faults
Oxidation Stacking Faults		由于氧化诱导形成的晶体缺陷，通常在腐蚀过程中被揭示。

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氮气 bubbler

与腐蚀槽连接		用于在腐蚀过程中提供氮气 agitation，防止溶液中产生气泡，影响腐蚀效果。
腐蚀槽

多种，包括简单烧杯和大型蚀刻 tank		用于容纳腐蚀液并提供必要的环境条件，如温度控制和气体搅拌。

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