本文件规定了用于非挥发性残留物重量测定的样品板在不同设施内部及设施间进行搬运、运输和安装的操作规范。
本文件采用国际单位制(SI)数值作为标准值。
本文件未涵盖所有与使用相关的安全问题。用户有责任在使用前建立适当的安全、健康及环境实践,并确定相关法规限制的适用性。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| ISO Class N ISO 等级 N | 根据 ISO 14644-1 和 14644-2 定义的空气颗粒浓度等级,其中 10N 是最大允许浓度(每立方米中的粒子数)。 |
| FS209 FS209 | 根据 FED-STD-209E 定义的最大允许空气中颗粒数的洁净度等级。 |
| 清洁区 clean area | 通过物理设计和操作程序控制污染的区域,包括净化室、受控区域和其他 enclosure。 |
| 分子污染物 molecular contaminant | 非颗粒状污染物,可能以气态、液态或固态存在。 |
| HEPA过滤器 符合 IEST-RP-CC001.3 和 IEST-RP-CC007.1 要求 | 用于空气净化,确保洁净室的空气质量达到 ISO 5 级或更高。 |
| NVR样品板 316耐腐蚀不锈钢,面积约为 0.1 m? | 用于收集和测定非挥发性残留物的样品载体。 |
Copyright ?2007-2026 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号
页面更新时间: 2026-08-10 15:18