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| 二次电子图象分辨率 | 0.8 nm @ 15 kV 1.2 nm @ 1 kV | 放大倍数 | 1 ~ 2,500,000 x |
| 电子光学 | 光学导航 | 样品台 | X=110mm,Y=110 mm,Z=50 mm T:-10°~+70°,R:360° |
| 探测器 | 二次电子探测器 (ETD)，背散射电子探测器、能谱仪EDS等 | 加速电压 | 20 V ~ 30 kV |
| 型号 | SEM5000 | 品牌 | 国仪量子 |
| 种类 | 场发射 | 价格区间 | 100万-150万 |
| 产品种类 | 落地式/传统大型 |
国仪量子场发射扫描电子显微镜SEM5000
产品介绍
SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。
先进的镜筒设计，高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。
电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
加速电压 0.1 kV ~ 30 kV
分辨率 1 nm @ 15 kV 2.5 nm @ 1 kV
样品台 五轴全自动样品台
放大倍率 1 ~ 1,000,000 x
产品特点
分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
高压隧道技术 (SuperTunnel), 在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
规格参数
电子光学系统
分辨率 1.0nm @ 15 kV
2.5 nm @ 1 kV
放大倍率 1 x ～ 1,000,000 x
加速电压 0.1 kV ～ 30 kV
电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
磁场屏蔽 被动式磁屏蔽
主动式磁屏蔽（选配）
成像系统
探测器 镜筒内高角度电子探测器（Inlens-SE Detector）
侧向二次电子探测器（ET Detector）
扩展 背散射电子探测器（BSE Detector）
能谱仪（EDS）
背散射衍射（EBSD）
电子束感生电流（EBIC）
阴极荧光（CL）
图像保存格式 TIFF、JPG、BMP、PNG
样品室
真空控制方式 全自动控制，无油真空系统
摄像头 双摄像头
( 光学导航 + 样品仓内监控 )
样品台配置 五轴全自动样品台
行程
X: 130 mm
Y: 105 mm
Z: 40 mm（大行程可选配）
R: 360°
T: -10°～ +90°
减震
主副减震支架
双气室隔膜式减震器
主动式减震器（选配）
软件
语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
