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技术参数：
能谱探测器技术指标：
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锂漂移硅探头（液氮制冷） |
锂漂移硅探头（液氮制冷） |
硅漂移探头（电制冷） |
硅漂移探头（电制冷） |
硅漂移探头（电制冷） |
硅漂移探头（电制冷） |
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分辨率 |
127eV |
133 eV |
126 eV |
129 eV |
133 eV |
133 eV |
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有效面积 |
10mm2 |
30 mm2 |
10 mm2 |
10 mm2 |
30 mm2 |
60 mm2 |
两种X射线发生器参数：
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X射线管 |
fX-SEMTM |
X-BeamTM |
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阳极类型 |
底窗穿透型 |
侧窗型 |
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靶材料 |
Ag, Mo, & W |
Ag, Cu, Mo, Rh & W |
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加速电压 |
10-35kV |
0-50kV |
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束流 |
0-100μA |
zei大1mA |
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阳极束斑大小 |
<500μm |
10, 40μm |
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准直器大小 |
200μm, 500μm, 1000μm(或其他) |
zl的多毛细管聚焦光学系统 |
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滤波片 |
根据需求可安装 |
根据需求可安装 |
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冷却需求 |
传导冷却，不用风冷 |
功率>10瓦时，风冷；其余传导冷却 |
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控制性/安全性 |
可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示；与SEM互锁、键控电源开关、与高压电源互锁、高压警示 |
可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示、内部互锁阀；键控电源开关、高压警示 |
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