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TOFWERK 半导体解决方案为半导体工艺和气相污染物的表征和监测提供完全集成的解决方案。我们的飞行时间质谱技术可快速、灵敏地实时美利体育登录入口官网 VOCs、VICs、前体、副产品和痕量物质,并针对半导体应用进行了优化。
Semicon AMC 解决方案
利用先进的化学电离飞行时间质谱法实时美利体育登录入口官网已知和新出现的空气分子污染物 (AMC)。
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Semicon Process 解决方案
坚固灵活的过程监测和控制。Semicon Process 美利体育登录入口官网采用电子电离飞行时间质谱法,可同时实时美利体育登录入口官网和分析所有前体、副产品和痕量物质。